当社は半導体製造装置の真空領域の消耗部品の製造販売を主とし、「製作」「改造」「修理」「表面処理」を行っております。
アルマイトや熔射についても何種類もございますので、用途に合わせたご提案が可能です。
- 陽極酸化被膜の耐プラズマ性を向上させたい。
- 皮膜角部が弱い。耐久性を上げられないか？
- 消耗品交換でコストがかさむ。代替品などを使用してみたいが、不安が多く踏み出せない。
- 陽極酸化被膜＋溶射(Y2O3)の密着力を上げたい。
- 独自の技術と提案力
- 弊社独自の技術は徹底的な解析データに裏付けされ成り立っております。
そのデータを基に問題点、対応策を検討しお客様に提案してまいります。
・SEM解析 ・EPMA 解析等
- 0.3μクラス100の
クリーンルーム保有 - 弊社製品は納入後お客様がすぐに使用出来るように、部品洗浄においては専門洗浄メーカー様と提携、最終パッケージについては弊社所有の0.3uクラス100のクリーンルーム内でパッケージしております。
- 多種に対応
アルマイト処理 - ・硫酸アルマイト
・蓚酸アルマイト
・混酸アルマイト
・ハイブリットアルマイト
・内部浸透型アルマイト
各種ご要望に応じて対応致します。
- ・ボトムガスリング
・ハイブリッド皮膜対応製品
- ・DPS Upper Chamber
・内部特殊溶射施工品
- ・P5000 Process Chamber
・内部のみ再生品
- ・Cooling Upper Plate
・特殊素材対応品
- 2020.03.02
- ホームページを公開いたしました
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TEL 097-579-6587 FAX 097-579-6581
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